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• 010 __ |a 7-111-13226-2 |d CNY38.00

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS和微系统 |A MEMS He Wei Xi Tong |d = MEMS & microsystems,design and manufacture,Tai-Ran Hsu |e 设计与制造 |E She JiYu Zhi Zao |f (美) 徐泰然著 |g 王晓浩 [等] 译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2004

• 215 __ |a 402页 |c 图 |d 24cm

• 306 __ |a 据美国McGraw-Hill Companies, Inc. 2002年英文版译出 由机械工业出版社和美国麦格劳-希尔教育(亚洲)出版公司合作出版

• 320 __ |a 有书目 (第394-402页)。

• 510 1_ |a MEMS & microsystems,design and manufacture,Tai-Ran Hsu |z eng

• 517 1_ |a 设计与制造 |A She Ji Yu Zhi Zao

• 532 12 |a Microelectromechanical system和微系统

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 应用 |x 机械系统

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |a 徐泰然 |A Xu Tai Ran |4 著

• 702 _0 |a 王晓浩 |A Wang Xiao Hao |4 译

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20041203

• 905 __ |a ZPHC |d TH-39/2