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• 010 __ |a 978-7-81133-238-4 |d CNY30.00

• 100 __ |a 20081027d2008 em y0chiy50 ea

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• 102 __ |a CN |b 230000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统与微细加工技术 |A Wei Ji Dian Xi Tong Yu Wei Xi Jia Gong Ji Shu |9 wei ji dian xi tong yu wei xi jia gong ji shu |f 朱荻[等]编

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工程大学出版社 |d 2008

• 215 __ |a 227页 |c 图 |d 23cm

• 300 __ |a 国防科工委“十五”规划教材

• 304 __ |a 编者还有：云乃彰、汪炜、曲宁松

• 330 __ |a 本书对微机电系统技术和细微加工技术进行了介绍。全书共分五章，包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |j 教材

• 606 0_ |a 特种加工 |A Te Zhong Jia Gong |x 技术 |j 教材

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu

• 606 0_ |a 特种加工 |A Te Zhong Jia Gong

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 690 __ |a TG66 |v 4

• 701 _0 |a 朱荻 |A Zhu Di |9 zhu di |4 编

• 801 _0 |a CN |b 91MARC |c 20130904

• 905 __ |a ZPHC |d TN4/8