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• 200 1_ |a 微系统设计与制造 |9 wei xi tong she ji yu zhi zao |d Microsystem design and fabrication |f 王喆垚编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2008

• 215 __ |a 15,648页 |d 26cm

• 300 __ |a 普通高等教育“十一五”国家级规划教材 清华大学信息科学技术学院教材——微电子光电子系列

• 330 __ |a 本书介绍了微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件。

• 510 1_ |a Microsystem design and fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 设计 |x 高等学校 |j 教材

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 制造 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN40 |v 4

• 701 _0 |a 王喆垚 |9 wang zhe yao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20080313

• 856 4_ |u http://www.bookuu.com/kgsm/ts/2008/03/10/1265435.shtml

• 905 __ |a ZPHC |d TN40/1