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- 010 __ |a 7-03-010813-2 |d CNY59.00
- 100 __ |a 20031010d2003 em y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a 软X射线与极紫外辐射的原理和应用 |9 ruan X she xian yu ji zi wai fu she de yuan li he ying yong |f (美)D.阿特伍德著 |g 张杰等译
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003
- 215 __ |a 13,458页 |c 照片 |d 24cm
- 330 __ |a 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性,讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用,并提供大量参考资料进行辅助讲述。
- 701 _0 |c (美) |a 阿特伍德 |9 a te wu de |c (Attwood, David) |4 著
- 702 _0 |a 张杰 |9 zhang jie |c (光学) |4 译
- 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20061124