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• 010 __ |a 978-7-118-12322-7 |b 精装 |d CNY119.00

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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 200 1_ |a 纳米加工技术与原理 |A Na Mi Jia Gong Ji Shu Yu Yuan Li |d Nanofabrication techniques and principles |f (加拿大)Maria Stepanova,Steven Dew编 |g 段辉高[等]译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2021

• 215 __ |a 318,10页 |c 图,照片 |d 24cm

• 300 __ |a 装备科技译著出版基金

• 304 __ |a 题名页题其余责任者:陈艺勤, 胡跃强, 李平

• 305 __ |a 本书简体中文版由Springer授权国防工业出版社独家出版。

• 314 __ |a 责任者Stepanova规范汉译姓: 斯捷潘诺娃 ; 责任者Dew规范汉译姓: 德夫

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书为电子、材料以及物理等领域的科学家和工程师更新纳米结构加工的新核心技术。主要内容包括亚25nm图形的光刻技术,纳米尺度精度的沉积技术,纳米尺度的图形刻蚀技术等。本书的亮点不是为了延展微电子制造工艺,而是更多聚焦于可在纳机电系统、生物传感器、纳米材料、光子晶体以及其它新型器件结构等革命性技术领域应用的图形加工技术。

• 510 1_ |a Nanofabrication techniques and principles |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |x 加工

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _1 |c (加拿大) |a 斯捷潘诺娃 |A Si Jie Pan Nuo Wa |c (Stepanova, Maria) |4 编

• 701 _1 |c (加拿大) |a 德夫 |A De Fu |c (Dew, Steven) |4 编

• 702 _0 |a 段辉高 |A Duan Hui Gao |4 译

• 702 _0 |a 陈艺勤 |A Chen Yi Qin |4 译

• 702 _0 |a 胡跃强 |A Hu Yue Qiang |4 译

• 702 _0 |a 李平 |A Li Ping |4 译

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20211226

• 905 __ |a ZPHC |d TB383/138