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- 000 01358nam0 2200325 450
- 010 __ |a 978-7-111-64958-8 |d CNY139.00
- 100 __ |a 20200612d2020 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 微机电系统(MEMS) |A Wei Ji Dian Xi Tong (mems) |b 专著 |e 元器件、电路及系统集成技术和应用 |f (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary),(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编 |g 周海宪,程云芳,周华伟等译
- 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020
- 215 __ |a 23,383页 |c 图 |d 26cm
- 225 1_ |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书
- 330 __ |a 本书共19章,分为两大部分:第1-9章为技术部分,讨论各类新型微机电系统(MEMS)器件;第10-19章属应用部分,详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。
- 517 1_ |a 元器件、电路及系统集成技术和应用 |A Yuan Qi Jian 、 Dian Lu Ji Xi Tong Ji Cheng Ji Shu He Ying Yong
- 606 0_ |a 微机电系统 |A Wei Ji Dian Xi Tong |x 研究
- 701 _0 |c (美) |a 乔杜里 |A Qiao Du Li |c (Choudhary, Vikas) |4 主编
- 701 _0 |c (加) |a 印纽斯基 |A Yin Niu Si Ji |c (Iniewski, Krzysztof) |4 主编
- 702 _0 |a 周海宪 |A Zhou Hai Xian |4 译
- 702 _0 |a 程云芳 |A Cheng Yun Fang |4 译
- 702 _0 |a 周华伟 |A Zhou Hua Wei |4 译
- 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20201012
- 905 __ |a ZPHC |d TH-39/78