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• 010 __ |a 978-7-111-40657-0 |d CNY69.00

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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 200 1_ |a 微机电系统基础 |9 wei ji dian xi tong ji chu |d Foundations of MEMS |f (美)Chang Liu著 |g 黄庆安译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2013

• 215 __ |a 13,397页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 国外电子电气经典教材系列

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 305 __ |a 由Pearson Education（培生教育出版集团）授权出版

• 330 __ |a 本书论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。

• 510 0_ |a Foundations of mems |z eng

• 606 0_ |a 微电机

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |c (美) |a 刘昶 |9 liu chang |4 著

• 702 _0 |a 黄庆安 |9 huang qing an |4 译

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20130925

• 905 __ |a ZPHC |d TM38/1