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• 005 20140926090700.0

• 010 __ |a 978-7-03-037825-5 |b 精装 |d CNY118.00

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• 200 1_ |a 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用 |9 wei na jia gong ji zai na mi cai liao yu qi jian yan jiu zhong de ying yong |f 顾长志等编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2013

• 215 __ |a 11,353页 |c 图 |d 25cm

• 300 __ |a 纳米科学与技术/白春礼主编 国家出版基金项目

• 330 __ |a 本书共分十二章，第1－8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的科学基础，又从实用出发，介绍了各种技术的主要工艺过程，特别涉及各种技术根据需要最新发展的一些创新方法；第9－12章按几个不同的领域，介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例，包括电学、光学、磁学、生物等其它领域。

• 333 __ |a 本书适用于物理、化学、电子、材料等专业研究生

• 606 0_ |a 纳米材料 |x 新技术应用

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 690 __ |a TB383 |v 4

• 701 _0 |a 顾长志 |9 gu chang zhi |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20140926

• 905 __ |a ZPHC |d TB383/69