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• 200 1_ |a 微机械电子系统及其应用 |A wei ji xie dian zi xi tong ji qi ying yong |f 刘广玉等编著

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 192页 |d 23cm

• 300 __ |a 高等学校通用教材

• 330 __ |a 本书内容包括微机核发电系统的组成和应用，微机电系统功能材料，微机械制造技术，微机械执行器，微机械传感器砐微机械弱信号检测与处理几个部分。

• 606 0_ |a 微型 |x 机电系统 |x 高等学校 |j 教材

• 606 0_ |a 微型

• 606 0_ |a 机电系统

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |a 刘广玉 |A liu guang yu |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20041019

• 905 __ |a ZPHC |d TH-39/1