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• 000 01325nam 2200313 450

• 001 0001092769

• 005 20220111155400.0

• 010 __ |a 978-7-302-39167-8 |d CNY98.00

• 100 __ |a 20151014d2015 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微系统设计与制造 |A Wei Xi Tong She Ji Yu Zhi Zao |d = Microsystem design and fabrication |f 王喆垚编著 |z eng

• 205 __ |a 第2版

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2015

• 215 __ |a x, 742页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 信息、控制与系统技术丛书 |A Xin Xi、kong Zhi Yu Xi Tong Ji Shu Cong Shu

• 320 __ |a 有书目 (第731-742页)

• 330 __ |a 本书结合微系统(MEMS)技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的分析设计方法和制造技术，以及多个前沿应用领域，力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括：微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。

• 410 _0 |1 2001 |a 信息、控制与系统技术丛书

• 510 1_ |a Microsystem design and fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 设计

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 制造

• 690 __ |a TN402 |v 5

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 王喆垚 |A Wang Zhe Yao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20151014

• 905 __ |a ZPHC |d TN402/5