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• 200 1_ |a 微机电系统 |A Wei Ji Dian Xi Tong |f 苑伟政，乔大勇，虞益挺编著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 西安 |c 西北工业大学出版社 |d 2021

• 215 __ |a 341页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 工业和信息化部“十四五”规划教材 微机电系统工程系列教材

• 330 __ |a 本书共分6章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，以及典型微器件与微系统和微测试技术。

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 高等教育 |j 教材

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 苑伟政 |A Yuan Wei Zheng |4 编著

• 701 _0 |a 乔大勇 |A Qiao Da Yong |4 编著

• 701 _0 |a 虞益挺 |A Yu Yi Ting |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20220618

• 905 __ |a ZPHC |d TN4/9