机读格式显示(MARC)

• 000 01399nam 2200313 450

• 001 0001415251

• 005 20240929184700.0

• 010 __ |a 978-7-302-66121-4 |d CNY69.00

• 100 __ |a 20240528d2024 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微加工技术工艺原理与实验 |A wei jia gong ji shu gong yi yuan li yu shi yan |f 陈军 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2024

• 215 __ |a 247页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材 |A mian xiang xin gong ke de dian gong dian zi xin xi ji chu ke cheng xi lie jiao cai

• 300 __ |a 教育部高等学校电工电子基础课程教学指导分委员会推荐教材

• 304 __ |a 题名页题: 陈军, 黄展云, 张宇, 卢星, 王冰, 陈晖编著

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共分六篇十二章, 系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合, 涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验、器件制造工艺实验和器件特性测量实验。

• 410 _0 |1 2001 |a 面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材

• 606 0_ |a 特种加工 |A te zhong jia gong |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TG66 |v 5

• 701 _0 |a 陈军 |A chen jun |4 编著

• 701 _0 |a 黄展云 |A huang zhan yun |4 编著

• 701 _0 |a 张宇 |A zhang yu |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20240528

• 905 __ |a ZPHC |d TG66/23