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• 010 __ |a 7-03-015288-3 |b 精装 |d CNY48.00

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳米技术及其应用 |9 wei na mi ji shu ji qi ying yong |f 李德胜等编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2005

• 215 __ |a 285页 |c 图 |d 24cm

• 300 __ |a 北京工业大学“211工程”资助出版 863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版

• 330 __ |a 本书大概述了微机电系统技术的发展北景、现状及应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。

• 606 0_ |a 纳米材料 |x 应用

• 690 __ |a TB383 |v 4

• 701 _0 |a 李德胜 |9 li de sheng |4 编著

• 701 _0 |a 关佳亮 |9 guan jia liang |4 编著

• 701 _0 |a 石照耀 |9 shi zhao yao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20060907

• 905 __ |a ZPHC |d TB383/23