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• 010 __ |a 978-7-118-08501-3 |d CNY99.00

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• 101 0_ |a chi |d eng |e eng

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• 200 1_ |a RF MEMS器件设计、加工和应用 |9 RF MEMS qi jian she ji、jia gong he ying yong |d RF MEMS devices design, fabrication, and application |f 朱健编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2012

• 215 __ |a 23,272页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 总装备部国防科技图书出版基金资助

• 330 __ |a 本书共分11章。前3章介绍RF MEMS技术基础，包括RF MEMS概述和设计及工艺技术。第4章至第9章介绍开关、电容电感、移相器、谐振器、滤波器和天线等RF MEMS器件的设计及应用，重点介绍作者近年来在该领域的研究成果和国内、外研究进展。第10章为RF MEMS器件走向实用化的关键技术——封装及可靠性。第11章为RF MEMS技术的应用及未来展望。

• 462 _0 |1 2001 |a MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a RF MEMS devices design, fabrication, and application |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 元器件

• 690 __ |a TN6 |v 5

• 690 __ |a TN6 |v 4

• 701 _0 |a 朱健 |9 zhu jian |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20140319

• 905 __ |a ZPHC |d TN6/24