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• 200 1_ |a 微电子制造科学原理与工程技术（英文版） |A Wei Dian Zi Zhi Zao Ke Xue Yuan Li Yu Gong Cheng Ji Shu Ying Wen Ban |f （美）坎贝尔（Campbell,S.A)著

• 205 __ |a 英文版

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2003

• 215 __ |a 603页 |c 图 |d 24cm

• 606 __ |a 微电子技术 |j 高等学校 |x 教材 |x 英文

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• 701 _1 |a （美）坎贝尔（Campbell,S.A) |4 著

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