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• 200 1_ |a 硅集成电路工艺基础 |9 gui ji cheng dian lu gong yi ji chu |f 关旭东编著

• 210 __ |a 北京 |c 北京大学出版社 |d 2003 |h 2004年第2次印刷

• 215 __ |a 305页 |d 26cm

• 300 __ |a 普通高等教育“十五”国家级规划教材

• 330 __ |a 本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。

• 606 0_ |a 硅栅MOS集成电路 |x 高等教育 |j 教材

• 606 0_ |a 硅栅MOS集成电路

• 690 __ |a TN432 |v 4

• 701 _0 |a 关旭东 |9 guan xu dong |c (微电子学) |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20050311

• 905 __ |a ZPHC |d TN432/1