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• 005 20221130115300.0

• 010 __ |a 978-7-03-065240-9 |d CNY98.00

• 100 __ |a 20200810d2020 em y0chiy50 ea

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳机电系统与微纳传感器技术 |A Wei Na Ji Dian Xi Tong Yu Wei Na Chuan Gan Qi Ji Shu |b 专著 |f 国家自然科学基金委员会，中国科学院[编]

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2020

• 215 __ |a 36,237页 |c 图 |d 24cm

• 225 1_ |a 国家科学思想库 |i 学术引领系列

• 300 __ |a 中国学科发展战略

• 330 __ |a 本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述，全面总结了技术的发展现状，客观分析了技术的发展态势，从学科的发展规律和研究特点出发，前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向，提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。

• 333 __ |a 微机电系统研究人员，微电机传感器研究人员

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 研究

• 606 0_ |a 微电机 |x 传感器 |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 711 02 |a 国家自然科学基金委员会 |A Guo Jia Zi Ran Ke Xue Ji Jin Wei Yuan Hui |4 编

• 711 02 |a 中国科学院 |A Zhong Guo Ke Xue Yuan |4 编

• 801 _0 |a CN |b ZPHC |c 20201027

• 905 __ |a ZPHC |d TH-39/80