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中文图书1.微机电系统.2版 TN4/9
馆藏复本:1
可借复本:1 苑伟政,乔大勇,虞益挺编著
西北工业大学出版社 2021
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中文图书2.微机电系统与微细加工技术 TN4/8
馆藏复本:1
可借复本:1 朱荻[等]编
哈尔滨工程大学出版社 2008
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中文图书3.微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用.5版 TH-39/78
馆藏复本:1
可借复本:1 (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary),(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编
机械工业出版社 2020
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中文图书4.微机电系统基础 TM38/1
馆藏复本:1
可借复本:1 (美)Chang Liu著
机械工业出版社 2013
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中文图书5.微惯性技术 TN96/1
馆藏复本:2
可借复本:2 刘俊, 石云波, 李杰编著
电子工业出版社 2005
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