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中文图书1.新型微机电系统与器件 TH-39/136
馆藏复本:2
可借复本:2 主编马宗敏
西安电子科技大学出版社 2022
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中文图书2.微纳机电系统与微纳传感器技术 TH-39/80
馆藏复本:2
可借复本:2 国家自然科学基金委员会,中国科学院[编]
科学出版社 2020
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中文图书3.高温SiC MEMS传感器的热电特性 TM54/1
馆藏复本:1
可借复本:1 (澳)丁东安(Toan Dinh),(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen),(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著
科学出版社 2022
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中文图书4.微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用.5版 TH-39/78
馆藏复本:1
可借复本:1 (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary),(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编
机械工业出版社 2020
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