MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：4
- 题名/责任者:
- 微加工技术工艺原理与实验/陈军 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-302-66121-4/CNY69.00
- 载体形态项:
- 247页:图;26cm
- 丛编项:
- 面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材
- 个人责任者:
- 陈军 编著
- 个人责任者:
- 黄展云 编著
- 个人责任者:
- 张宇 编著
- 学科主题:
- 特种加工-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TG66
- 一般附注:
- 教育部高等学校电工电子基础课程教学指导分委员会推荐教材
- 题名责任附注:
- 题名页题: 陈军, 黄展云, 张宇, 卢星, 王冰, 陈晖编著
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共分六篇十二章, 系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合, 涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验、器件制造工艺实验和器件特性测量实验。
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