MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：4
- 题名/责任者:
- 聚焦离子束:应用与实践/邓昱 ... [等] 著
- 出版发行项:
- 南京:南京大学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-305-27409-1/CNY68.00
- 载体形态项:
- 193页, 10页图版:图 (部分彩图);23cm
- 个人责任者:
- 邓昱 著
- 个人责任者:
- 魏大庆 著
- 个人责任者:
- 王英 著
- 学科主题:
- 离子束聚变装置
- 中图法分类号:
- TL632
- 题名责任附注:
- 题名页题: 邓昱, 魏大庆, 王英, 陈振著
- 责任者附注:
- 邓昱, 南京大学亚原子电镜中心主任、现代工程与应用科学学院博士生导师, 中国分析测试协会青年委员会副主任委员, 江苏省电镜学会副主任委员。魏大庆, 教授级高工, 哈尔滨工业大学电镜平台主任、分析测试与计算中心副主任, 黑龙江省电镜学会理事长, 中国CSTM FC98科学试验领域委员会委员。王英, 副教授, 上海交通大学先进电子材料与器件平台净化管理部门负责人, 中国电子显微镜学会聚焦离子束 (FIB) 专业委员会委员。
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共分七章, 从聚焦离子束的结构原理出发, 紧密结合应用与实践, 对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述, 并配有实际案例进行进一步详解。
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