MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 半导体材料/张源涛, 杨树人, 徐颖编著
- 版本说明:
- 第4版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-03-075191-1/CNY59.00
- 载体形态项:
- 257页:图;26cm
- 个人责任者:
- 张源涛 编著
- 个人责任者:
- 杨树人 编著
- 个人责任者:
- 徐颖 编著
- 学科主题:
- 半导体材料-高等教育-教材
- 中图法分类号:
- TN304
- 一般附注:
- 新形态教材
- 书目附注:
- 有书目 (第256-257页)
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺，以及特性的控制等，内容包括：硅和锗的化学制备、区熔提纯、晶体生长、硅外延生长、低维结构半导体材料、氧化物半导体材料、宽禁带半导体材料等。
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