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- 题名/责任者:
- 高温SiC MEMS传感器的热电特性/(澳)丁东安(Toan Dinh)，(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen)，(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著 王兴华[等]译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-03-072489-2/CNY88.00
- 载体形态项:
- 10,133页:图;24cm
- 个人责任者:
- (澳) 丁东安 (Dinh, Toan) 著
- 个人责任者:
- (澳) 阮南中 (Nguyen, Nam-Trung) 著
- 个人责任者:
- (澳)(Dzung 陶宗越 (Dao, Dzung Viet) 著
- 个人次要责任者:
- 王兴华 译
- 学科主题:
- 碳化硅热敏电阻器-研究
- 学科主题:
- 微机电系统-传感器-热电效应-研究
- 中图法分类号:
- TM54
- 中图法分类号:
- TH-39
- 提要文摘附注:
- 本书分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
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