MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 微系统设计与制造/王喆垚编著
- 版本说明:
- 第2版
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-302-39167-8/CNY98.00
- 载体形态项:
- x, 742页:图;26cm
- 丛编项:
- 信息、控制与系统技术丛书
- 个人责任者:
- 王喆垚 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-设计
- 学科主题:
- 微电子技术-制造
- 中图法分类号:
- TN402
- 中图法分类号:
- TN405
- 书目附注:
- 有书目 (第731-742页)
- 提要文摘附注:
- 本书结合微系统(MEMS)技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的分析设计方法和制造技术，以及多个前沿应用领域，力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括：微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。
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