MARC状态:待编 文献类型:中文图书 浏览次数:15
- 题名/责任者:
- 金属有机化合物气相外延基础及应用/陆大成,段树坤著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-03-023845-0 精装/CNY75.00
- 载体形态项:
- 361页:图;25cm
- 丛编项:
- 半导体科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 陆大成 著
- 个人责任者:
- 段树坤 著
- 学科主题:
- 有机金属化合物-气相外延生长-研究
- 中图法分类号:
- O627
- 一般附注:
- 中国科学院科学出版基金资助出版
- 提要文摘附注:
- 本书论述了MOVPE技术的生长系统和原材料特性等实验基础、MOVPE生长热力学、化学反应动力学和输运现象等理论基础。介绍了Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料生长及其量子阱、量子点等低维结构的MOVPE生长,以及在光电器件和电子器件方面的应用。
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