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- 题名/责任者:
- 微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用/(美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary)，(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编 周海宪，程云芳，周华伟等译
- 版本说明:
- 5版
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2020
- ISBN及定价:
- 978-7-111-64958-8/CNY139.00
- 载体形态项:
- 23,383页:图;26cm
- 其它题名:
- 元器件、电路及系统集成技术和应用
- 丛编项:
- 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书
- 个人责任者:
- (美) 乔杜里 (Choudhary, Vikas) 主编
- 个人责任者:
- (加) 印纽斯基 (Iniewski, Krzysztof) 主编
- 个人次要责任者:
- 周海宪 译
- 个人次要责任者:
- 程云芳 译
- 个人次要责任者:
- 周华伟 译
- 学科主题:
- 微机电系统-研究
- 中图法分类号:
- TH-39
- 提要文摘附注:
- 本书共19章，分为两大部分：第1-9章为技术部分，讨论各类新型微机电系统(MEMS)器件；第10-19章属应用部分，详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。
- 使用对象附注:
- 微机电系统研究人员
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