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题名/责任者:

基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术/董申，孙涛，闫永达著

出版发行项:

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2012

ISBN及定价:

978-7-5603-3861-3/CNY68.00

载体形态项:

291页:图;26cm

并列正题名:

Atomic force microscope based nano mechanical machining and nano measurement techniques

个人责任者:

董申 著

个人责任者:

孙涛 著

个人责任者:

闫永达 著

学科主题:

原子力学-显微镜-应用-纳米材料-金属切削

学科主题:

原子力学-显微镜-应用-纳米材料-检测

中图法分类号:

TG5

中图法分类号:

TG5

一般附注:

国家出版基金资助项目·“十二五”国家重点图书 航天科学与工程专著系列

提要文摘附注:

本书主要把作者课题组近年来的相关研究工作做了一个阶段性的归纳和总结，内容包括：纳米机械加工表面的微观形貌检测方法；纳米机械加工表层形成机理；基于AFM的纳米机械加工技术；基于AFM的工程应用。

使用对象附注:

本书适用于从事纳米加工技术、纳米检测技术以及超精密加工工艺等的研究人员

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