MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：6
- 题名/责任者:
- 薄膜材料科学/(美)Milton Ohring著 刘卫国[等]译
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2013
- ISBN及定价:
- 978-7-118-08144-2/CNY188.00
- 载体形态项:
- 15,484页:图;26cm
- 个人责任者:
- (美) 奥林 (Ohring, Milton) 著
- 个人次要责任者:
- 刘卫国 译
- 学科主题:
- 薄膜-工程材料
- 中图法分类号:
- TB383
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 西安工业大学专著出版基金资助 装备科技译著出版基金
- 题名责任附注:
- 译者还有：蔡长龙、梁海锋、刘欢、潘永强、徐均琪等6人
- 版本附注:
- 由ELSEVIER INC授权出版 据原书第2版译出
- 提要文摘附注:
- 本书分12章，主要包括：材料科学基础、真空科学与技术、薄膜热蒸发过程、薄膜制备的等离子体与离子束工艺、化学气相沉积、基底表现与薄膜成核、外延生长、薄膜结构等内容。
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