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题名/责任者:

氢化硅薄膜介观力学行为研究和耐高温压力传感器研制/王权著

出版发行项:

镇江:江苏大学出版社,2012

ISBN及定价:

978-7-81130-436-7/CNY26.00

载体形态项:

131页;22cm

并列正题名:

Research of mesoscopic mechanical behavior of hydrogenated silicon thin film and fabrication of high temperature pressure sensor

丛编项:

江大学人系列丛书

个人责任者:

王权 (1973-) 著

学科主题:

硅-氢化物-薄膜-研究

学科主题:

硅压力传感器-研究

中图法分类号:

O484

中图法分类号:

TP212

中图法分类号:

O484

一般附注:

本书由江苏大学专著出版基金资助

提要文摘附注:

本书主要针对氢化硅薄膜介观力学行为和耐高温压力传感器这两个问题展开了理论与实验研究。

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