MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- 微纳米技术及其应用/李德胜等编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2005
- ISBN及定价:
- 7-03-015288-3 精装/CNY48.00
- 载体形态项:
- 285页:图;24cm
- 个人责任者:
- 李德胜 编著
- 个人责任者:
- 关佳亮 编著
- 个人责任者:
- 石照耀 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-应用
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 北京工业大学“211工程”资助出版 863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版
- 提要文摘附注:
- 本书大概述了微机电系统技术的发展北景、现状及应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。
全部MARC细节信息>>
鄞州馆流通区(可借)