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题名/责任者:

微电子制造科学原理与工程技术/(美)坎贝尔(Campbell,S.A.)著 曾莹[等]译

版本说明:

2版

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2003

ISBN及定价:

7-5053-8313-2/CNY59.00

载体形态项:

613页;26cm

并列正题名:

The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication

个人责任者:

(美) 坎贝尔 (Campbell,S.A.) 著

个人次要责任者:

曾莹 译

个人次要责任者:

严利人 译

个人次要责任者:

王纪民 译

个人次要责任者:

张伟 译

学科主题:

微电子技术-教材

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN4

一般附注:

国外电子与通信教材系列

一般附注:

本书在第一版的基础上进行了修改和扩充

题名责任附注:

译者还有：严利人、王纪民、张伟

提要文摘附注:

本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸化、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。

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