MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：10
- 题名/责任者:
- 硅锗超晶格及低维量子结构/盛篪等著
- 出版发行项:
- 上海:上海科学技术出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-5323-7540-4 精装/CNY46.00
- 载体形态项:
- 11,294页;24cm
- 丛编项:
- 科学前沿丛书
- 个人责任者:
- 盛篪 (1939.2~) 著
- 学科主题:
- 超晶格半导体-半导体物理学-研究
- 学科主题:
- 超晶格半导体
- 学科主题:
- 半导体物理学
- 中图法分类号:
- O471.4
- 提要文摘附注:
- 本书分别介绍了Si-xGex/Si体系的基本物理特性；Si分子束外延设备、实时监测分析技术及各种类型的Si-xGex/Si材料的外延生长技术等诸多内容。
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