MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- 软X射线与极紫外辐射的原理和应用/(美)D.阿特伍德著 张杰等译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-03-010813-2/CNY59.00
- 载体形态项:
- 13,458页:照片;24cm
- 个人责任者:
- (美) 阿特伍德 (Attwood, David) 著
- 个人次要责任者:
- 张杰 (光学) 译
- 学科主题:
- X射线-研究
- 学科主题:
- 紫外辐射-研究
- 学科主题:
- X射线
- 学科主题:
- 紫外辐射
- 中图法分类号:
- O434
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性，讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用，并提供大量参考资料进行辅助讲述。
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