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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：8

题名/责任者:
硅集成电路工艺基础/关旭东编著
出版发行项:
北京:北京大学出版社,2003
ISBN及定价:
7-301-06507-8/CNY28.00
载体形态项:
305页;26cm
个人责任者:
关旭东 (微电子学) 编著
学科主题:
硅栅MOS集成电路-高等教育-教材
学科主题:
硅栅MOS集成电路
中图法分类号:
TN432
一般附注:
普通高等教育“十五”国家级规划教材
提要文摘附注:
本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 所在方位 书刊状态 还书位置
TN432/1 168796 2004 - 奉化馆流通区(可借)     定位 可借 奉化馆流通区(可借)
TN432/1 168797 2004 - 鄞州馆流通区(可借)     定位 可借
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