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题名/责任者:

微纳制造与半导体器件/周圣军主编

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-111-75922-5/CNY69.00

载体形态项:

290页:图;26cm

并列正题名:

Micro and nano manufacturing and semiconductor devices

个人责任者:

周圣军 主编

学科主题:

半导体器件-高等学校-教材

中图法分类号:

TN303

一般附注:

新工科·普通高等教育机电类系列教材 新形态教材

相关题名附注:

封面英文题名：Micro and nano manufacturing and semiconductor devices

提要文摘附注:

本书分为3篇，共12章，包括半导体基本原理(半导体材料、能带和PN结)、微纳制造工艺(掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术)、半导体器件(器件测试分析与表征技术、Ⅲ族氮化物发光二极管、SiC压阻式压力传感器、器件仿真软件)等内容，对微纳制造和器件加工中涉及的技术与工艺进行了介绍。

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