MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：11
- 题名/责任者:
- 微细加工与微纳加工技术及应用/赵波, 李伯民, 李清等编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-122-36940-6/CNY79.00
- 载体形态项:
- 214页:图;26cm
- 个人责任者:
- 赵波 编著
- 个人责任者:
- 李伯民 编著
- 个人责任者:
- 李清 编著
- 学科主题:
- 特种加工-技术
- 中图法分类号:
- TG66
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书分别介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。
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