MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：4
- 题名/责任者:
- 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器/陆学斌著
- 出版发行项:
- 北京:北京大学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-301-33905-3/CNY68.00
- 载体形态项:
- 160页:图;23cm
- 个人责任者:
- 陆学斌 著
- 学科主题:
- 多晶-纳米材料-薄膜-硅压力传感器
- 中图法分类号:
- TP212
- 书目附注:
- 有书目 (第147-160页)
- 提要文摘附注:
- 本书共分5章，第1章介绍多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状，第2章介绍工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响，第3章研究多晶硅纳米薄膜的杨氏模量，第4章研究多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用，第5章介绍多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。
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