MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 微电子工艺与装备技术/夏洋, 解婧, 陈宝钦编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-03-075192-8/CNY88.00
- 载体形态项:
- x, 227页:图;26cm
- 丛编项:
- 中国科学院大学研究生教材系列
- 个人责任者:
- 夏洋 编著
- 个人责任者:
- 解婧 (女) 编著
- 个人责任者:
- 陈宝钦 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-生产工艺-研究生-教材
- 中图法分类号:
- TN405
- 书目附注:
- 有书目 (第221-227页)
- 提要文摘附注:
- 本书介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括：集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。
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