MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 新型微机电系统与器件/主编马宗敏
- 出版发行项:
- 西安:西安电子科技大学出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-5606-6530-6/CNY49.00
- 载体形态项:
- 312页:图;26cm
- 丛编项:
- 高等学校微电子类专业系列教材
- 个人责任者:
- 马宗敏 主编
- 学科主题:
- 微机电系统-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TH-39
- 相关题名附注:
- 英文并列题名取自封面
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共七章，内容包括：近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传感器件及系统、量子传感器件及系统、柔性传感器件及系统。
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