MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：20
- 题名/责任者:
- 氮化铝单晶材料生长与应用/徐科, 黄俊编著
- 出版发行项:
- 西安:西安电子科技大学出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-5606-6283-1 精装/CNY108.00
- 载体形态项:
- 175页, [4] 页图版:图 (部分彩图);25cm
- 丛编项:
- 宽禁带半导体前沿丛书
- 个人责任者:
- 徐科 编著
- 个人责任者:
- 黄俊 编著
- 学科主题:
- 氮化铝-单晶-半导体材料-研究
- 中图法分类号:
- TN304.2
- 一般附注:
- 国家出版基金项目
- 书目附注:
- 有书目 (第167-175页)
- 提要文摘附注:
- 本书共七章，包括氮化铝单晶材料的基本性质、氮化铝单晶材料生长的物理基础、氮化铝单晶材料的缺陷、物理气相传输法制备氮化铝单晶、氢化物气相外延法制备氮化铝单晶、金属有机物化学气相沉积法制备氮化铝单晶薄膜、氮化铝器件应用。
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