MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：10
- 题名/责任者:
- 精密纳米计量学:用于纳米制造的传感器和测量系统/(日) Wei Gao著 李雷 ... 等译
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-118-12466-8 精装/CNY98.00
- 载体形态项:
- xi, 243页:图;25cm
- 其它题名:
- 用于纳米制造的传感器和测量系统
- 丛编项:
- 军事计量科技译丛
- 个人责任者:
- 高伟 著
- 个人次要责任者:
- 李雷 译
- 个人次要责任者:
- 赵昭 译
- 个人次要责任者:
- 张慧 译
- 学科主题:
- 纳米技术-应用-测量-研究
- 中图法分类号:
- P2
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 装备科技译著出版基金 Springer
- 出版发行附注:
- Springer出版社授权出版
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了精密纳米计量学的相关知识，重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器，提出了改善传感器灵敏度和带宽，减小传感器尺寸的技术，并开发了新的多轴传感方法；同时，介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统，阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统；最后对微观非球面的测量，纳米制造中微纳结构的精密纳米计量，以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。
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