MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 微机电系统/苑伟政，乔大勇，虞益挺编著
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 西安:西北工业大学出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-5612-7676-1/CNY69.00
- 载体形态项:
- 341页:图;26cm
- 个人责任者:
- 苑伟政 编著
- 个人责任者:
- 乔大勇 编著
- 个人责任者:
- 虞益挺 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-高等教育-教材
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 工业和信息化部“十四五”规划教材 微机电系统工程系列教材
- 提要文摘附注:
- 本书共分6章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，以及典型微器件与微系统和微测试技术。
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