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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:10

题名/责任者:
高温SiC MEMS传感器的热电特性/(澳)丁东安(Toan Dinh),(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen),(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著 王兴华[等]译
出版发行项:
北京:科学出版社,2022
ISBN及定价:
978-7-03-072489-2/CNY88.00
载体形态项:
10,133页:图;24cm
并列正题名:
Thermoelectrical effect in SiC for high-temperature MEMS sensors
个人责任者:
(澳) 丁东安 (Dinh, Toan) 著
个人责任者:
(澳) 阮南中 (Nguyen, Nam-Trung) 著
个人责任者:
(澳)(Dzung 陶宗越 (Dao, Dzung Viet) 著
个人次要责任者:
王兴华
学科主题:
碳化硅热敏电阻器-研究
学科主题:
微机电系统-传感器-热电效应-研究
中图法分类号:
TM54
中图法分类号:
TH-39
提要文摘附注:
本书分为三部分,共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性;第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程,总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展;第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 所在方位 书刊状态 还书位置
TM54/1 740052 2022  奉化馆流通区(可借)     定位 可借 奉化馆流通区(可借)
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