MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：11
- 题名/责任者:
- 微机电系统与微细加工技术/朱荻[等]编
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-81133-238-4/CNY30.00
- 载体形态项:
- 227页:图;23cm
- 个人责任者:
- 朱荻 编
- 学科主题:
- 微电子技术-教材
- 学科主题:
- 特种加工-技术-教材
- 学科主题:
- 微电子技术
- 学科主题:
- 特种加工
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TG66
- 一般附注:
- 国防科工委“十五”规划教材
- 题名责任附注:
- 编者还有：云乃彰、汪炜、曲宁松
- 提要文摘附注:
- 本书对微机电系统技术和细微加工技术进行了介绍。全书共分五章，包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。
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