MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:18
- 题名/责任者:
- 半导体材料物理与技术/杨建荣著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2020
- ISBN及定价:
- 978-7-03-062732-2/CNY78.00
- 载体形态项:
- 294页:图;24cm
- 个人责任者:
- 杨建荣 著
- 学科主题:
- 半导体材料-物理性质-研究生-教材
- 中图法分类号:
- TN304
- 一般附注:
- 中国科学院大学研究生教学辅导书系列 中国科学院大学教材出版中心资助
- 相关题名附注:
- 封面英文题名:Physics and technology of semiconductor materials
- 提要文摘附注:
- 本书将这一分支学科的专业知识划分为半导体材料概述、物理性能、晶体生长热处理、性能测量和工艺基础技术6个组成部分,通过把分散在众多教科书、专著和文献资料中的专业知识系统地纳入这一学科体系框架,使之成为一本全面介绍半导体材料物理知识、工艺基本原理和实用化技术的专业书籍。
- 使用对象附注:
- 研究生类教材
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