MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：16
- 题名/责任者:
- 半导体材料标准汇编(2014版).方法标准 国标分册/全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会，中国标准出版社编
- 出版发行项:
- 北京:中国标准出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-5066-7752-3/CNY230.00
- 载体形态项:
- 703页:图;30cm
- 个人责任者:
- 贺东江 (材料学) 主编
- 团体次要责任者:
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 材料分会 编
- 团体次要责任者:
- 中国标准出版社 编
- 学科主题:
- 半导体材料-材料标准-中国-汇编
- 中图法分类号:
- TN304-65
- 中图法分类号:
- TN304-65
- 责任者附注:
- 主编：贺东江
- 提要文摘附注:
- 本书收录了非本征半导体材料导电类型测试方法、硅单晶电阻率测定方法、硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法、硅片直径测量方法等标准。
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