MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：13
- 题名/责任者:
- 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用/顾长志等编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2013
- ISBN及定价:
- 978-7-03-037825-5 精装/CNY118.00
- 载体形态项:
- 11,353页:图;25cm
- 个人责任者:
- 顾长志 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-新技术应用
- 中图法分类号:
- TB383
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 纳米科学与技术/白春礼主编 国家出版基金项目
- 提要文摘附注:
- 本书共分十二章，第1－8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的科学基础，又从实用出发，介绍了各种技术的主要工艺过程，特别涉及各种技术根据需要最新发展的一些创新方法；第9－12章按几个不同的领域，介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例，包括电学、光学、磁学、生物等其它领域。
- 使用对象附注:
- 本书适用于物理、化学、电子、材料等专业研究生
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