MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：12
- 题名/责任者:
- RF MEMS器件设计、加工和应用/朱健编著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-118-08501-3/CNY99.00
- 载体形态项:
- 23,272页:图;24cm
- 丛编项:
- 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列
- 个人责任者:
- 朱健 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-元器件
- 中图法分类号:
- TN6
- 中图法分类号:
- TN6
- 一般附注:
- “十二五”国家重点图书出版规划项目 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 总装备部国防科技图书出版基金资助
- 提要文摘附注:
- 本书共分11章。前3章介绍RF MEMS技术基础，包括RF MEMS概述和设计及工艺技术。第4章至第9章介绍开关、电容电感、移相器、谐振器、滤波器和天线等RF MEMS器件的设计及应用，重点介绍作者近年来在该领域的研究成果和国内、外研究进展。第10章为RF MEMS器件走向实用化的关键技术——封装及可靠性。第11章为RF MEMS技术的应用及未来展望。
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