MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：18
- 题名/责任者:
- 微机电系统基础/(美)Chang Liu著 黄庆安译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2013
- ISBN及定价:
- 978-7-111-40657-0/CNY69.00
- 载体形态项:
- 13,397页:图;26cm
- 并列正题名:
- Foundations of mems
- 个人责任者:
- (美) 刘昶 著
- 个人次要责任者:
- 黄庆安 译
- 学科主题:
- 微电机
- 中图法分类号:
- TM38
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- 国外电子电气经典教材系列
- 版本附注:
- 据原书第2版译出
- 版本附注:
- 由Pearson Education（培生教育出版集团）授权出版
- 提要文摘附注:
- 本书论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。
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