MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 压电薄膜材料与器件制备技术/张涛著
- 出版发行项:
- 西安:西北工业大学出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-5612-3480-8/CNY28.00
- 载体形态项:
- 191页:图;23cm
- 个人责任者:
- 张涛 著
- 学科主题:
- 压电薄膜-压电材料-制备
- 学科主题:
- 压电薄膜-压电器件-制备
- 中图法分类号:
- TM22
- 中图法分类号:
- TM22
- 一般附注:
- 国防特色学术专著 学术专著·材料科学与工程
- 提要文摘附注:
- 本书主要分为压电薄膜制备技术和薄膜压电器件制备技术两部分，讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术，内容包括：压电薄膜基础理论，压电薄膜制备技术与进展等。
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